納米壓電旋轉(zhuǎn)位移臺RF-33A

產(chǎn)品介紹

澤攸科技位移臺作為國產(chǎn)精密儀器的代表，依托壓電陶瓷驅(qū)動技術(shù)實現(xiàn)了亞納米級運動精度與宏觀行程的突破性結(jié)合，解決了傳統(tǒng)設(shè)備在分辨率和行程范圍上的技術(shù)瓶頸。其核心設(shè)計采用高剛性柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)，兼具結(jié)構(gòu)緊湊、真空兼容、寬溫區(qū)穩(wěn)定運行等特性，可在低溫至室溫環(huán)境中保持優(yōu)異性能。該產(chǎn)品系列通過模塊化設(shè)計支持定制化需求，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體檢測、生物顯微操作、光刻機工件臺定位等領(lǐng)域。

產(chǎn)品描述

• 應(yīng)用案例

△ 電子顯微鏡原位納米探針臺

△ 半導(dǎo)體芯片檢測

△ 光刻機工件臺

△ 微生物操縱手

△ 光纖焊接

△ 超精密組裝

△ 精密檢測與測量

△ 高精度激光對焦