手動臺階儀

【產(chǎn)品概述】澤攸科技JS系列臺階儀作為國產(chǎn)高精度表面測量設(shè)備的代表，憑借其創(chuàng)新的技術(shù)架構(gòu)、靈活的應(yīng)用場景及可靠的測量性能，在半導(dǎo)體制造、材料科學(xué)、微納技術(shù)等領(lǐng)域展現(xiàn)了顯著優(yōu)勢。JS系列臺階儀通過金剛石探針與樣品表面的接觸掃描，將微觀輪廓的垂直位移轉(zhuǎn)化為電信號，結(jié)合高靈敏度傳感器與信號處理算法，實現(xiàn)納米級精度的表面特征捕捉。其核心技術(shù)亮點在于超微壓力恒定控制系統(tǒng).

產(chǎn)品型號：JS10B
更新時間：2025-05-08
訪問量：2651
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

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產(chǎn)品詳情

澤攸科技臺階儀JS10B

產(chǎn)品介紹

手動臺階儀

澤攸科技手動臺階儀JS10B是一款高精度測量設(shè)備，采用一體式花崗巖結(jié)構(gòu)設(shè)計，確保了測量的穩(wěn)定性和可靠性。其配備彩色攝像頭，能清晰地觀察樣品和針尖，方便定位并實時監(jiān)控掃描區(qū)域。JS10B的最大掃描長度為55mm，重復(fù)性測量偏差不超過0.5nm，適用于晶圓尺寸≤150mm的樣品。此外，它還具備臺階、粗糙度、平整度和翹曲度等多種測量功能，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子等領(lǐng)域。

應(yīng)用領(lǐng)域

手動臺階儀

產(chǎn)品組成

突破三大核心技術(shù)

產(chǎn)品特色

JS10B臺階儀部分技術(shù)指標(biāo)

名稱	詳細(xì)參數(shù)
樣品尺寸	≤150mm
最大掃描長度	55mm
重復(fù)性測量偏差	≤0.5nm（1μm標(biāo)準(zhǔn)塊重復(fù)掃描30次）
探針加力范圍	0.5-50mg
垂直分辨率	0.05nm滿量程
掃描分辨率	10nm
掃描速度	5μm/s-100μm/s
掃描最大采集點數(shù)	200萬點
軟件功能	臺階、粗糙度、平整度和翹曲度測量

案例應(yīng)用

18nm樣品

68um樣品

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